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Ti-Si-N films prepared by magnetron sputtering

Pan, L. / Bai, Y. / Zhang, D. / Wang, J.

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Titel:

Ti-Si-N films prepared by magnetron sputtering

Beteiligte:

Pan, L. (Autor:in) / Bai, Y. (Autor:in) / Zhang, D. (Autor:in) / Wang, J. (Autor:in)

Erschienen in:

RARE METALS -BEIJING- ENGLISH EDITION ; 31 ; 183-188

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1001-0521

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 669

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