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Phase and structural evolution of sol–gel synthesized ZrO2/Si thin films under heat treatment
Phase and structural evolution of sol–gel synthesized ZrO2/Si thin films under heat treatment
Phase and structural evolution of sol–gel synthesized ZrO2/Si thin films under heat treatment
Hwang, S. M. (Autor:in) / Park, G. C. (Autor:in) / Lim, J. H. (Autor:in) / Joo, J. (Autor:in)
JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 47 ; 5216-5221
01.01.2012
6 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
DDC:
620.11
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