Refractory nanoporous materials fabricated using tungsten atomic layer deposition on silica aerogels: Fid-Bau Portal

Refractory nanoporous materials fabricated using tungsten atomic layer deposition on silica aerogels

Mane, A. U. / Greene, J. P. / Nolen, J. A. / Sampathkumaran, U. / Owen, T. W. / Winter, R. / Elam, J. W.

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Titel:

Refractory nanoporous materials fabricated using tungsten atomic layer deposition on silica aerogels

Beteiligte:

Mane, A. U. (Autor:in) / Greene, J. P. (Autor:in) / Nolen, J. A. (Autor:in) / Sampathkumaran, U. (Autor:in) / Owen, T. W. (Autor:in) / Winter, R. (Autor:in) / Elam, J. W. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 258 ; 6472-6478

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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