A Monolithic Integrated Pressure Sensor: Fid-Bau Portal

A Monolithic Integrated Pressure Sensor

Zhang, Z.Y. / Yang, C. / Mei, Y. / Feng, Z.C. / Li, X.G. / Li, J.G. / Hu, G.X.

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Titel:

A Monolithic Integrated Pressure Sensor

Beteiligte:

Zhang, Z.Y. (Autor:in) / Yang, C. (Autor:in) / Mei, Y. (Autor:in) / Feng, Z.C. (Autor:in) / Li, X.G. (Autor:in) / Li, J.G. (Autor:in) / Hu, G.X. (Autor:in) / Wang, X.

Erschienen in:

Micro-Nano Technology XIII Selected, peer reviewed papers from the 13th Annual Conference of Chinese Society of Micro-Nano Technology, September 28-30, 2011, Changchow, China ; 8-11

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 503

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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