Design and Fabrication of a MEMS Flexural Plate Wave Device Based on LTO/ZnO/LTO/Si~3N~4 Multilayered Composite Membrane: Fid-Bau Portal

Design and Fabrication of a MEMS Flexural Plate Wave Device Based on LTO/ZnO/LTO/Si~3N~4 Multilayered Composite Membrane

Xue, M.X. / Liu, M.W. / Li, X. / Li, J.H.

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Titel:

Design and Fabrication of a MEMS Flexural Plate Wave Device Based on LTO/ZnO/LTO/Si~3N~4 Multilayered Composite Membrane

Beteiligte:

Xue, M.X. (Autor:in) / Liu, M.W. (Autor:in) / Li, X. (Autor:in) / Li, J.H. (Autor:in) / Wang, X.

Erschienen in:

Micro-Nano Technology XIII Selected, peer reviewed papers from the 13th Annual Conference of Chinese Society of Micro-Nano Technology, September 28-30, 2011, Changchow, China ; 29-34

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 503

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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