Vibration Characteristic Analysis of V-Shaped Electrothermal Microactuator: Fid-Bau Portal

Vibration Characteristic Analysis of V-Shaped Electrothermal Microactuator

Wang, Z.L. / Shen, X.J. / Zhou, L. / Chen, X.Y.

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Titel:

Vibration Characteristic Analysis of V-Shaped Electrothermal Microactuator

Beteiligte:

Wang, Z.L. (Autor:in) / Shen, X.J. (Autor:in) / Zhou, L. (Autor:in) / Chen, X.Y. (Autor:in) / Wang, X.

Erschienen in:

Micro-Nano Technology XIII Selected, peer reviewed papers from the 13th Annual Conference of Chinese Society of Micro-Nano Technology, September 28-30, 2011, Changchow, China ; 118-121

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 503

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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