Design and Analysis of a Monolithic 3-Axis Micro-Accelerometer: Fid-Bau Portal

Design and Analysis of a Monolithic 3-Axis Micro-Accelerometer

Wang, X.H. / Chen, Z.H. / Xiao, D.B. / Wu, X.Z.

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Titel:

Design and Analysis of a Monolithic 3-Axis Micro-Accelerometer

Beteiligte:

Wang, X.H. (Autor:in) / Chen, Z.H. (Autor:in) / Xiao, D.B. (Autor:in) / Wu, X.Z. (Autor:in) / Wang, X.

Erschienen in:

Micro-Nano Technology XIII Selected, peer reviewed papers from the 13th Annual Conference of Chinese Society of Micro-Nano Technology, September 28-30, 2011, Changchow, China ; 122-127

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 503

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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