AlN/3C-SiC Composite Plate Enabling High-Frequency and High-Q Micromechanical Resonators: Fid-Bau Portal

AlN/3C-SiC Composite Plate Enabling High-Frequency and High-Q Micromechanical Resonators

Lin, C. M. / Chen, Y. Y. / Felmetsger, V. V. / Senesky, D. G. / Pisano, A. P.

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Titel:

AlN/3C-SiC Composite Plate Enabling High-Frequency and High-Q Micromechanical Resonators

Beteiligte:

Lin, C. M. (Autor:in) / Chen, Y. Y. (Autor:in) / Felmetsger, V. V. (Autor:in) / Senesky, D. G. (Autor:in) / Pisano, A. P. (Autor:in)

Erschienen in:

ADVANCED MATERIALS -DEERFIELD BEACH THEN WEINHEIM- ; 24 ; 2722-2727

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0935-9648

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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