CVD Heteroepitaxial Growth of 3C-SiC on 4H-SiC (0001) Substrates: Fid-Bau Portal

CVD Heteroepitaxial Growth of 3C-SiC on 4H-SiC (0001) Substrates

Li, X. / Leone, S. / Andersson, S. / Kordina, O. / Henry, A. / Janzen, E.

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Titel:

CVD Heteroepitaxial Growth of 3C-SiC on 4H-SiC (0001) Substrates

Beteiligte:

Li, X. (Autor:in) / Leone, S. (Autor:in) / Andersson, S. (Autor:in) / Kordina, O. (Autor:in) / Henry, A. (Autor:in) / Janzen, E. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 717/720 ; 189-192

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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