Nano-Motion X-Y Stage by Pneumatic Servo Spherical Bearing Actuators: Fid-Bau Portal

Nano-Motion X-Y Stage by Pneumatic Servo Spherical Bearing Actuators

Sugimoto, A. / Hirayama, T. / Matsuoka, T. / Sasaki, K.

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Titel:

Nano-Motion X-Y Stage by Pneumatic Servo Spherical Bearing Actuators

Beteiligte:

Sugimoto, A. (Autor:in) / Hirayama, T. (Autor:in) / Matsuoka, T. (Autor:in) / Sasaki, K. (Autor:in)

Erschienen in:

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 516 ; 281-286

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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