Noncontact Figuring of Millimeter-Thick Elliptical Mirror Substrate by Numerically Controlled Local Wet Etching: Fid-Bau Portal

Noncontact Figuring of Millimeter-Thick Elliptical Mirror Substrate by Numerically Controlled Local Wet Etching

Nagano, M. / Yamaga, F. / Yamazaki, D. / Maruyama, R. / Soyama, K. / Yamamura, K.

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Titel:

Noncontact Figuring of Millimeter-Thick Elliptical Mirror Substrate by Numerically Controlled Local Wet Etching

Beteiligte:

Nagano, M. (Autor:in) / Yamaga, F. (Autor:in) / Yamazaki, D. (Autor:in) / Maruyama, R. (Autor:in) / Soyama, K. (Autor:in) / Yamamura, K. (Autor:in)

Erschienen in:

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 516 ; 361-366

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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