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    Titel:

    Improvement of an Air-Bearing Displacement Sensor with Nanometric Resolution

    Beteiligte:

    Ito, S. (Autor:in) / Lee, K.W. (Autor:in) / Shimizu, Y. (Autor:in) / Gao, W. (Autor:in)

    Erschienen in:

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 523/524 ; 945-950

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2012

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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