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Micromachining of copper by femtosecond laser pulses

Wang, S. Y. / Ren, Y. / Cheng, C. W. / Chen, J. K. / Tzou, D. Y.

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Titel:

Micromachining of copper by femtosecond laser pulses

Beteiligte:

Wang, S. Y. (Autor:in) / Ren, Y. (Autor:in) / Cheng, C. W. (Autor:in) / Chen, J. K. (Autor:in) / Tzou, D. Y. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 265 ; 302-308

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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