Comparison of Nanosized Pattern of Calixarene and ZEP520 Resist by Using Energy Deposition Distribution: Fid-Bau Portal

Comparison of Nanosized Pattern of Calixarene and ZEP520 Resist by Using Energy Deposition Distribution

Zhang, H. / Komori, T. / Mohamad, Z. / Yin, Y. / Hosaka, S.

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Titel:

Comparison of Nanosized Pattern of Calixarene and ZEP520 Resist by Using Energy Deposition Distribution

Beteiligte:

Zhang, H. (Autor:in) / Komori, T. (Autor:in) / Mohamad, Z. (Autor:in) / Yin, Y. (Autor:in) / Hosaka, S. (Autor:in) / Hosaka, S.

Erschienen in:

Advanced Micro-Device Engineering III ; 107-112

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 534

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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