Vapor-Liquid-Solid Growth of Silicon-Based Nanowires for High Sensitive Sensor: Fid-Bau Portal

Vapor-Liquid-Solid Growth of Silicon-Based Nanowires for High Sensitive Sensor

Sone, H. / Suda, Y. / Kubota, D. / Hosaka, S.

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Titel:

Vapor-Liquid-Solid Growth of Silicon-Based Nanowires for High Sensitive Sensor

Beteiligte:

Sone, H. (Autor:in) / Suda, Y. (Autor:in) / Kubota, D. (Autor:in) / Hosaka, S. (Autor:in) / Hosaka, S.

Erschienen in:

Advanced Micro-Device Engineering III ; 257-261

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 534

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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