Correlation between interfacial electronic structure and mechanical properties of ZrN/SiNx films: Fid-Bau Portal

Correlation between interfacial electronic structure and mechanical properties of ZrN/SiNx films

Meng, Q. / Wen, M. / Liu, P. / Zhang, K. / Zheng, W.

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Titel:

Correlation between interfacial electronic structure and mechanical properties of ZrN/SiNx films

Beteiligte:

Meng, Q. (Autor:in) / Wen, M. (Autor:in) / Liu, P. (Autor:in) / Zhang, K. (Autor:in) / Zheng, W. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 94 ; 61-64

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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