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Antireflective nanostructures fabricated by reactive ion etching method on pyramid-structured silicon surface

Yue, Z. / Shen, H. / Jiang, Y.

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Titel:

Antireflective nanostructures fabricated by reactive ion etching method on pyramid-structured silicon surface

Beteiligte:

Yue, Z. (Autor:in) / Shen, H. (Autor:in) / Jiang, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 271 ; 402-406

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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