Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Reactive Ion Etching Induced Surface Damage of Silicon Carbide
Reactive Ion Etching Induced Surface Damage of Silicon Carbide
Reactive Ion Etching Induced Surface Damage of Silicon Carbide
Xia, J. H. (Autor:in) / Rusli (Autor:in) / Gopalakrishan, R. (Autor:in) / Choy, S. F. (Autor:in) / Tin, C. C. (Autor:in) / Ahn, J. (Autor:in) / Yoon, S. F. (Autor:in) / Nipoti, R. / Poggi, A. / Scorzoni, A.
01.01.2005
4 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
DDC:
620.11
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