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    Titel:

    Hardness of silicon nitride thin films characterised by nanoindentation and nanoscratch deconvolution methods

    Beteiligte:

    Liu, S. (Autor:in) / Huang, H. (Autor:in) / Gu, Y.T. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND TECHNOLOGY -LONDON- ; 28 ; 1172-1176

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2012

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0267-0836

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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