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Ultra-short pulsed laser ablation of silicon nitride layers: Investigation near threshold fluence

Heinrich, G. / Wollgarten, M. / Bahr, M. / Lawerenz, A.

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Titel:

Ultra-short pulsed laser ablation of silicon nitride layers: Investigation near threshold fluence

Beteiligte:

Heinrich, G. (Autor:in) / Wollgarten, M. (Autor:in) / Bahr, M. (Autor:in) / Lawerenz, A. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 278 ; 265-267

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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