Optimized electrode coverage of membrane actuators based on epitaxial PZT thin films: Fid-Bau Portal

Optimized electrode coverage of membrane actuators based on epitaxial PZT thin films

Nguyen, M.D. / Nazeer, H. / Dekkers, M. / Blank, D.H.A. / Rijnders, G.

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Titel:

Optimized electrode coverage of membrane actuators based on epitaxial PZT thin films

Beteiligte:

Nguyen, M.D. (Autor:in) / Nazeer, H. (Autor:in) / Dekkers, M. (Autor:in) / Blank, D.H.A. (Autor:in) / Rijnders, G. (Autor:in)

Erschienen in:

SMART MATERIALS AND STRUCTURES ; 22 ; 085013

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

85013 pages

ISSN:

0964-1726

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 530

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