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    Titel:

    A study on structural, optical and hydrophobic properties of oblique angle sputter deposited HfO"2 films

    Beteiligte:

    Jain, R. K. (Autor:in) / Gautam, Y. K. (Autor:in) / Dave, V. (Autor:in) / Chawla, A. K. (Autor:in) / Chandra, R. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 283 ; 332-338

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2013

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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