Structural, optical and hydrophobic properties of sputter deposited zirconium oxynitride films: Fid-Bau Portal

Structural, optical and hydrophobic properties of sputter deposited zirconium oxynitride films

Rawal, S. K. / Chawla, A. K. / Chawla, V. / Jayaganthan, R. / Chandra, R.

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Titel:

Structural, optical and hydrophobic properties of sputter deposited zirconium oxynitride films

Beteiligte:

Rawal, S. K. (Autor:in) / Chawla, A. K. (Autor:in) / Chawla, V. (Autor:in) / Jayaganthan, R. (Autor:in) / Chandra, R. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B ADVANCED FUNCTIONAL SOLID STATE MATERIALS ; 172 ; 259-266

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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