Microstructure and nanomechanical properties of Fe^+ implanted silicon: Fid-Bau Portal

Microstructure and nanomechanical properties of Fe^+ implanted silicon

Nunes, B. / Magalhaes, S. / Franco, N. / Alves, E. / Colaco, R.

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Titel:

Microstructure and nanomechanical properties of Fe^+ implanted silicon

Beteiligte:

Nunes, B. (Autor:in) / Magalhaes, S. (Autor:in) / Franco, N. (Autor:in) / Alves, E. (Autor:in) / Colaco, R. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 284 ; 533-539

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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