Non-monotonic roughening at early stages of isotropic silicon etching: Fid-Bau Portal

Non-monotonic roughening at early stages of isotropic silicon etching

Dhillon, P. K. / Sarkar, S.

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Titel:

Non-monotonic roughening at early stages of isotropic silicon etching

Beteiligte:

Dhillon, P. K. (Autor:in) / Sarkar, S. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 284 ; 569-574

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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