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Structural Design of 2D Piezoresistive Micro-Force Sensor

Zhou, J. / Rong, W.B. / Sun, L.N.

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Titel:

Structural Design of 2D Piezoresistive Micro-Force Sensor

Beteiligte:

Zhou, J. (Autor:in) / Rong, W.B. (Autor:in) / Sun, L.N. (Autor:in) / Tang, F.

Erschienen in:

Micro-Nano Technology XIV ; 363-368

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 562/565

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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