A SOI-MEMS Piezoresistive Atmosphere Pressure Sensor: Fid-Bau Portal

A SOI-MEMS Piezoresistive Atmosphere Pressure Sensor

Du, L.D. / Zhao, Z. / Xiao, L. / Zhang, M.Y. / Fang, Z.

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Titel:

A SOI-MEMS Piezoresistive Atmosphere Pressure Sensor

Beteiligte:

Du, L.D. (Autor:in) / Zhao, Z. (Autor:in) / Xiao, L. (Autor:in) / Zhang, M.Y. (Autor:in) / Fang, Z. (Autor:in) / Tang, F.

Erschienen in:

Micro-Nano Technology XIV ; 394-397

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 562/565

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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