Nonlinearity Analysis of Closed-Loop Sigma Delta Micro-Mechanical Accelerometer: Fid-Bau Portal

Nonlinearity Analysis of Closed-Loop Sigma Delta Micro-Mechanical Accelerometer

Liu, X.W. / Xu, H.L. / Lv, B.J. / Zhou, J.J. / Chen, S. / Yang, J.

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Titel:

Nonlinearity Analysis of Closed-Loop Sigma Delta Micro-Mechanical Accelerometer

Beteiligte:

Liu, X.W. (Autor:in) / Xu, H.L. (Autor:in) / Lv, B.J. (Autor:in) / Zhou, J.J. (Autor:in) / Chen, S. (Autor:in) / Yang, J. (Autor:in) / Tang, F.

Erschienen in:

Micro-Nano Technology XIV ; 380-386

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 562/565

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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