Photothermal Microactuators Fabricated by LIGA Technology: Fid-Bau Portal

Photothermal Microactuators Fabricated by LIGA Technology

Wang, B. / Shi, B. / Yi, F.T. / Zhang, D.X. / Zhang, H.J. / Zhang, T.C. / Liu, J. / Ma, L.N.

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Titel:

Photothermal Microactuators Fabricated by LIGA Technology

Beteiligte:

Wang, B. (Autor:in) / Shi, B. (Autor:in) / Yi, F.T. (Autor:in) / Zhang, D.X. (Autor:in) / Zhang, H.J. (Autor:in) / Zhang, T.C. (Autor:in) / Liu, J. (Autor:in) / Ma, L.N. (Autor:in) / Tang, F.

Erschienen in:

Micro-Nano Technology XIV ; 534-537

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 562/565

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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