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    Titel:

    Analytical Method for Calculating Curvature of Circular Silicon Wafer Caused by Boron Doping

    Beteiligte:

    He, J.B. (Autor:in) / Xie, J. (Autor:in) / Zhou, W. (Autor:in) / Qu, H. (Autor:in) / Peng, P. (Autor:in) / Tang, F.

    Erschienen in:

    Micro-Nano Technology XIV ; 721-726

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 562/565

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2013

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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