Experimental study and modeling of the effect of mixed size abrasive grits on surface topology and removal rate in wafer lapping: Fid-Bau Portal

Experimental study and modeling of the effect of mixed size abrasive grits on surface topology and removal rate in wafer lapping

Zhu, X. / Chung, C. / Korach, C. S. / Kao, I.

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Titel:

Experimental study and modeling of the effect of mixed size abrasive grits on surface topology and removal rate in wafer lapping

Beteiligte:

Zhu, X. (Autor:in) / Chung, C. (Autor:in) / Korach, C. S. (Autor:in) / Kao, I. (Autor:in)

Erschienen in:

WEAR -LAUSANNE- ; 305 ; 14-22

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0043-1648

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11292

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