High performance ZnO:Al films deposited on PET substrates using facing target sputtering: Fid-Bau Portal

High performance ZnO:Al films deposited on PET substrates using facing target sputtering

Guo, T. / Dong, G. / Gao, F. / Xiao, Y. / Chen, Q. / Diao, X.

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Titel:

High performance ZnO:Al films deposited on PET substrates using facing target sputtering

Beteiligte:

Guo, T. (Autor:in) / Dong, G. (Autor:in) / Gao, F. (Autor:in) / Xiao, Y. (Autor:in) / Chen, Q. (Autor:in) / Diao, X. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 282 ; 467-471

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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