Functions of Trilon^(R) P as a polyamine in copper chemical mechanical polishing: Fid-Bau Portal

Functions of Trilon^(R) P as a polyamine in copper chemical mechanical polishing

Jiang, L. / Lan, Y. / He, Y. / Li, Y. / Luo, J.

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Titel:

Functions of Trilon^(R) P as a polyamine in copper chemical mechanical polishing

Beteiligte:

Jiang, L. (Autor:in) / Lan, Y. (Autor:in) / He, Y. (Autor:in) / Li, Y. (Autor:in) / Luo, J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 288 ; 265-274

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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