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    Titel:

    New method for boron removal from silicon by electron beam injection

    Beteiligte:

    Tan, Y. (Autor:in) / Qin, S. (Autor:in) / Wen, S. (Autor:in) / Li, J. (Autor:in) / Shi, S. (Autor:in) / Jiang, D. (Autor:in) / Pang, D. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 18 ; 42-45

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2014

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    1369-8001

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.38152

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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