Inline RF sputtered TAZO films for applications in hydrogenated amorphous silicon thin film solar cells: Fid-Bau Portal

Inline RF sputtered TAZO films for applications in hydrogenated amorphous silicon thin film solar cells

Lien, S. Y. / Hsu, C. H. / Chang, C. H. / Wu, H. Y. / Hsieh, I. C. / Wang, D. Y.

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Titel:

Inline RF sputtered TAZO films for applications in hydrogenated amorphous silicon thin film solar cells

Beteiligte:

Lien, S. Y. (Autor:in) / Hsu, C. H. (Autor:in) / Chang, C. H. (Autor:in) / Wu, H. Y. (Autor:in) / Hsieh, I. C. (Autor:in) / Wang, D. Y. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 292 ; 27-33

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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