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Formation of porosity in sputtered amorphous hydrogenated carbon films

Yin, Y. / Collins, R. E. / Zhang, Q.-C.

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Titel:

Formation of porosity in sputtered amorphous hydrogenated carbon films

Beteiligte:

Yin, Y. (Autor:in) / Collins, R. E. (Autor:in) / Zhang, Q.-C. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 29 ; 5794

Erscheinungsdatum:

01.01.1994

Format / Umfang:

5794 pages

ISSN:

0022-2461

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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