Femtosecond laser fabrication of large-area periodic surface ripple structure on Si substrate: Fid-Bau Portal

Femtosecond laser fabrication of large-area periodic surface ripple structure on Si substrate

Hong, L. / Rusli / Wang, X. C. / Zheng, H. Y. / Wang, H. / Yu, H. Y.

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Titel:

Femtosecond laser fabrication of large-area periodic surface ripple structure on Si substrate

Beteiligte:

Hong, L. (Autor:in) / Rusli (Autor:in) / Wang, X. C. (Autor:in) / Zheng, H. Y. (Autor:in) / Wang, H. (Autor:in) / Yu, H. Y. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 297 ; 134-138

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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