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    Titel:

    Analysis of laser doping of silicon using different boron dopant sources

    Beteiligte:

    Prathap, P. (Autor:in) / Bartringer, J. (Autor:in) / Slaoui, A. (Autor:in) / Castillejo, M. / Kautek, W. / Millon, E. / O'Connor, G.

    Erschienen in:

    E-MRS 2013 Symposium V: "Laser Material Interactions for Micro- and Nano- Applications" 27-31 May 2013, Strasbourg (France) ; 268-274

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 302

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2014

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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