Excimer-laser doping of spin-on dopant in silicon: Fid-Bau Portal

Excimer-laser doping of spin-on dopant in silicon

Wong, Y. W. / Yang, X. Q. / Chan, P. W. / Tong, K. Y.

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Titel:

Excimer-laser doping of spin-on dopant in silicon

Beteiligte:

Wong, Y. W. (Autor:in) / Yang, X. Q. (Autor:in) / Chan, P. W. (Autor:in) / Tong, K. Y. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 64 ; 259

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

259 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 621.35

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