Cross-sectional study of high spatial frequency ripples performed on silicon using nanojoule femtosecond laser pulses at high repetition rate: Fid-Bau Portal

Cross-sectional study of high spatial frequency ripples performed on silicon using nanojoule femtosecond laser pulses at high repetition rate

Le Harzic, R. / Menzel, M. / Henning, S. / Heilmann, A. / Stracke, F. / Zimmermann, H.

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Titel:

Cross-sectional study of high spatial frequency ripples performed on silicon using nanojoule femtosecond laser pulses at high repetition rate

Beteiligte:

Le Harzic, R. (Autor:in) / Menzel, M. (Autor:in) / Henning, S. (Autor:in) / Heilmann, A. (Autor:in) / Stracke, F. (Autor:in) / Zimmermann, H. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 305 ; 670-673

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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