Characterization of Ta-Si-N coatings prepared using direct current magnetron co-sputtering: Fid-Bau Portal

Characterization of Ta-Si-N coatings prepared using direct current magnetron co-sputtering

Chen, Y. I. / Lin, K. Y. / Wang, H. H. / Cheng, Y. R.

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Titel:

Characterization of Ta-Si-N coatings prepared using direct current magnetron co-sputtering

Beteiligte:

Chen, Y. I. (Autor:in) / Lin, K. Y. (Autor:in) / Wang, H. H. (Autor:in) / Cheng, Y. R. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 305 ; 805-816

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

12 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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