Subsurface nanocracking in monocrystalline Si (001) induced by nanoscratching: Fid-Bau Portal

Subsurface nanocracking in monocrystalline Si (001) induced by nanoscratching

Tang, F. / Zhang, L.

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Titel:

Subsurface nanocracking in monocrystalline Si (001) induced by nanoscratching

Beteiligte:

Tang, F. (Autor:in) / Zhang, L. (Autor:in)

Erschienen in:

ENGINEERING FRACTURE MECHANICS ; 124-125 ; 262-271

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0013-7944

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1 / 126

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