Silicon monoxide role in silicon nanocluster formation during Si-rich oxide layer annealing

Silicon monoxide role in silicon nanocluster formation during Si-rich oxide layer annealing – Monte Carlo simulation

Mikhantiev, E. A. / Neizvestny, I. G. / Usenkov, S. V. / Shwartz, N. L.

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Titel:

Silicon monoxide role in silicon nanocluster formation during Si-rich oxide layer annealing – Monte Carlo simulation

Beteiligte:

Mikhantiev, E. A. (Autor:in) / Neizvestny, I. G. (Autor:in) / Usenkov, S. V. (Autor:in) / Shwartz, N. L. (Autor:in)

Erschienen in:

COMPUTATIONAL MATERIALS SCIENCE ; 90 ; 99-105

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0927-0256

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1 / 510

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