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Simulation of ion beam sputtering with SDTrimSP, TRIDYN and SRIM

Hofsass, H. / Zhang, K. / Mutzke, A.

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Titel:

Simulation of ion beam sputtering with SDTrimSP, TRIDYN and SRIM

Beteiligte:

Hofsass, H. (Autor:in) / Zhang, K. (Autor:in) / Mutzke, A. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 310 ; 134-141

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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