Optimal Preparation and Characterization of Sputtered Y~2O~3 Films on Sapphire Substrates: Fid-Bau Portal

Optimal Preparation and Characterization of Sputtered Y~2O~3 Films on Sapphire Substrates

Wang, G.G. / Qian, H.L. / Li, Q.T. / Qin, G.S. / Luo, L.

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Titel:

Optimal Preparation and Characterization of Sputtered Y~2O~3 Films on Sapphire Substrates

Beteiligte:

Wang, G.G. (Autor:in) / Qian, H.L. (Autor:in) / Li, Q.T. (Autor:in) / Qin, G.S. (Autor:in) / Luo, L. (Autor:in) / Pan, W. / Gong, J.

Erschienen in:

High-Performance Ceramics VIII ; 266-269

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 602/603

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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