DC-magnetron sputtering of ZnO:Al films on (00.1)Al"2O"3 substrates from slip-casting sintered ceramic targets: Fid-Bau Portal

DC-magnetron sputtering of ZnO:Al films on (00.1)Al"2O"3 substrates from slip-casting sintered ceramic targets

Miccoli, I. / Spampinato, R. / Marzo, F. / Prete, P. / Lovergine, N.

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Titel:

DC-magnetron sputtering of ZnO:Al films on (00.1)Al"2O"3 substrates from slip-casting sintered ceramic targets

Beteiligte:

Miccoli, I. (Autor:in) / Spampinato, R. (Autor:in) / Marzo, F. (Autor:in) / Prete, P. (Autor:in) / Lovergine, N. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 313 ; 418-423

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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