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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Error Separation and Dynamic Compensation Method in Coplanar Planar Grating Displacement Measurement System

    Beteiligte:

    Liu, Y.M. (Autor:in) / Yuan, M.Q. (Autor:in) / Cao, J.R. (Autor:in) / Ma, J. (Autor:in) / Tan, J.B. (Autor:in) / Schmitt, R. / Bosse, H.

    Erschienen in:

    Measurement Technology and Intelligent Instruments XI Metrology - Master Global Challenges ; 43-50

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 613

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2014

    Format / Umfang:

    8 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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