Fabrication and Characteristics of Silicon Bridge Magnetic Sensor Based on Nano-Polysilicon TFTs: Fid-Bau Portal

Fabrication and Characteristics of Silicon Bridge Magnetic Sensor Based on Nano-Polysilicon TFTs

Zhao, X.F. / Wu, T. / Cao, J.Y. / Wen, D.Z. / Zhang, H.Q. / Zhuang, C.C. / Yu, Y.

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Titel:

Fabrication and Characteristics of Silicon Bridge Magnetic Sensor Based on Nano-Polysilicon TFTs

Beteiligte:

Zhao, X.F. (Autor:in) / Wu, T. (Autor:in) / Cao, J.Y. (Autor:in) / Wen, D.Z. (Autor:in) / Zhang, H.Q. (Autor:in) / Zhuang, C.C. (Autor:in) / Yu, Y. (Autor:in) / Tang, F.

Erschienen in:

MICRO-NANO TECHNOLOGY XV ; 1100-1105

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 609/610

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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