Microstructure and corrosion resistance of vanadium films deposited at different target-substrate distance by HPPMS: Fid-Bau Portal

Microstructure and corrosion resistance of vanadium films deposited at different target-substrate distance by HPPMS

Li, C. W. / Tian, X. B. / Liu, T. W. / Qin, J. W. / Gong, C. Z.

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Titel:

Microstructure and corrosion resistance of vanadium films deposited at different target-substrate distance by HPPMS

Beteiligte:

Li, C. W. (Autor:in) / Tian, X. B. (Autor:in) / Liu, T. W. (Autor:in) / Qin, J. W. (Autor:in) / Gong, C. Z. (Autor:in)

Erschienen in:

RARE METALS -BEIJING- ENGLISH EDITION ; 33 ; 587-593

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

1001-0521

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 669

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