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    Titel:

    Synergetic effect of potassium molybdate and benzotriazole on the CMP of ruthenium and copper in KIO4-based slurry

    Beteiligte:

    Cheng, J. (Autor:in) / Wang, T. (Autor:in) / Mei, H. (Autor:in) / Zhou, W. (Autor:in) / Lu, X. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 320 ; 531-537

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2014

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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